Нанотехнологии в микроэлектронике [Коллектив авторов]

Складчина: Нанотехнологии в микроэлектронике [Коллектив авторов]

В книге представлены результаты междисциплинарных фундаментальных, поисковых и прикладных научных исследований по разработке технологий получения новых наноматериалов и элементной базы электронных устройств новых поколений информационно-телекоммуникационных систем.

Рассмотрены возможности практического применения методов проектирования и изготовления сверхбыстродействующих интегральных элементов СБИС и УБИС, многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, устройств нанопьезотроники, микроэлектронной сенсорики, нейроморфных систем и вакуумной микроэлектроники на основе использования перспективных методов нанотехнологии:

• молекулярно-лучевой эпитаксии,
• импульсного лазерного осаждения,
• плазмохимического осаждения из газовой фазы,
• сканирующей зондовой микроскопии и зондовой нанолитографии,
• фокусированных ионных пучков, электронно-лучевой обработки,
• а также перспективных методов планарной технологии поверхностной обработки.

Для научных работников и инженеров, специализирующихся в области применения нанотехнологии в микроэлектронике, а также для студентов и аспирантов соответствующего профиля.

Цена 528 руб.
Формат pdf
Скрытая ссылка